ГОМОНАЙ Ганна Миколаївна директор Інституту електронної фізики НАН України, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник, лауреат премії НАН України ім. І. Пулюя.

ШПЕНИК Отто Бартоломійович – радник при дирекції Інституту електронної фізики НАН України, академік НАН України, професор, заслужений діяч науки і техніки України, лауреат Державної премії України в галузі науки і техніки, лауреат премії НАН України ім. І. Пулюя, дійсний член Угорської академії наук.

ЗАВІЛОПУЛО Анатолій Миколайович – заступник директора з наукової роботи, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник, професор, лауреат Державної премії України в галузі науки і техніки.

ТОРИЧ Золтан Золтанович – учений секретар, кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник.

РОМАН Іван Юрійович - заступник директора з загальних питань, кандидат хімічних наук.

ПОПОВИЧ Костянтин Павлович - голова ради молодих вчених, кандидат фізико-математичних наук

ТЕРЕЩЕНКО Ольга Дмитрівна – головний бухгалтер

МИЛИМКО Анатолій Миколайович – головний інженер

Завідувачі відділами:

електронних процесів – Снігурський Олександр Валентинович, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник

іонних процесів – Шпеник Отто Бартоломійович, академік НАН України, професор, заслужений діяч науки і техніки України, лауреат Державної премії України в галузі науки і техніки, лауреат премії НАН України ім. Івана Пулія

теорії елементарних взаємодій – Гайсак Михайло Іванович, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник

квантової електроніки – Кельман Володимир Андрійович, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник, лауреат премії ім. К.Д. Синельникова

матеріалів функціональної електроніки – Гомоннай Олександр Васильович, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник

фотоядерних процесів – Маслюк Володимир Трохимович, доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник